材 质：单晶硅
尺 寸：160*60*40mm
面 型：PV=0.093λ@632.8nm
R M S ：0.012λ@632.8nm
表面光洁度：20-10
斜 度：<0.3urad
表面粗糙度：≤0.2nm
测试设备：450mm干涉仪
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